سیستم لایه‌نشانی تبخیر با پرتو الکترون خلأ بالا

سیستم لایه‌نشانی تبخیر با پرتو الکترون  خلأ بالا

مشخصات دستگاه
محفظه:  استیل، حجم :110لیتر، دو پنجره دید، درب در بالا، 12 سوراخ فیدترو به قطر 27 میلیمتر
فشارنهایی: محدوده 6- 10 میلی بار
سیستم تخلیه: پمپ مکانیکی ودیفیوژن یا توربومولکولار ، زمان تخلیه برای شروع عملیات: 40 دقیقه
عملکرد: نیمه‌اتوماتیک برای حفاظت در مقابل قطع منابع برق، آب، باد و خطای کاربر
بالابرمحفظه: پنوماتیک الکترونی
کابینت ها: رنگ الکترواستاتیک  

 

تجهیزات جانبی نصب شده روی دستگاه


منبع پرتو الکترونی مغناطیسی3 kw ، گردش 270 درجه پرتو
منبع تغذیه kw 3 ، kV 6 برای منبع پرتو الکترونی
کاتد مگنترون اسپاترینگ، 3 اینچ، 1 kw ، RF و DC با منبع تغذیه DC 1kw
منبع تغذیه RF : 13.56 مگاهرتز،  600 وات
منبع تبخیر مقاومتی :   A250 با منبع تغذیه AC
تله ازت مایع
ضخامت‌سنج کریستالی کامپیوتری
نمونه‌گردان برقی با امکان کنترل دور
گرم‌کن نمونه( از نوع تابشی) با کنترلر دمای PID

 

کاربردها:
فناوری نانو
اپتیک 
میکروالکترونیک
ابررسانایی
فیلترهای نوری
اپتوالکترونیک
آینه های لیزر
لایه های دی الکتریک
پوشش های سخت
پوشش های تزئینی

آخرین ویرایش۰۲ دی ۱۳۹۷
تعداد بازدید:۱۰۹