1396/08/26
 
حوزه های فعالیت:
تحقیقات و فناوری
اشتغال و كار آفريني
آموزش
فرهنگ و هنر
 
لینک ها:
ASPxHyperLink

ASPxHyperLink

ASPxHyperLink

ASPxHyperLink

ASPxHyperLink

 
 
 
 
مهندسي و علوم>فناوری خلأ بالا>
 
سيستم لايه نشاني مگنترون اسپاترينگ مدل (MSS)

  

        · مشخصات دستگاه:

 

    - محفظه استيل:  

            حجم: 60 ليتر، سه پنجره دید، درب در بالا، 12 سوراخ فیدترو به قطر 27میلیمتر

   - فشارنهايي:   محدوده 6- 10 ميلي‌بار

   - سيستم تخليه: پمپ مكانيكي و توربومولكولار

   - عملكرد: نيمه‌ اتوماتيك برای حفاظت در مقابل قطع منابع برق، آب، باد و  خطای                           کاربر

   - بالابرمحفظه: پنوماتيك الكترونيك 

 

 · تجهيزات جانبي نصب شده روي دستگاه:

-           کاتدDC  و RF مگنترون اسپاترينگ به قطر 2 و 3 اينچ ( طبق درخواست مشتري)

         - منبع تغذيه DC اسپاترينگ 1 كيلووات

         - منبع تغذيه RF اسپاترينگ 1000 وات در فركانس 13.56 مگاهرتز

         - جعبه تطبيق دستي و اتوماتيك

         - ضخامت‌سنج كريستالي كامپيوتري

         - نمونه­گردان دستي

         - گرم‌كن نمونه(از نوع تابشي) با كنترلر دماي  PID (250 درجه سانتی گراد                    داراي نگهدارنده نمونه بدون قابليت خنك­شوندگي با آب و 700 درجه سانتی گراد            داراي نگهدارنده نمونه با قابليت خنك­شوندگي با آب)

        - شاتر كاتد و شاتر نمونه

        - كاتد تميزكاري پلاسماي موضعي

 

 · كاربردها:

  فناوري نانو، اپتيک، ميکروالکترونيک، ابررسانايي، فيلترهاي نوري، اپتوالکترونيک،

  آينه هاي ليزر، لايه­هاي دي­الکتريك، پوشش­هاي سخت، پوشش­هاي تزئيني

 

 · طراحی، ساخت، نصب و راه اندازی سیستم در:

  دانشكده فني و مهندسي دانشگاه تربيت مدرس- 1383

  پژوهشكده برق و الكترونيك- 1384

  دانشگاه صنعتي اصفهان- 1390

  مركز ميكروالكترونيك جهاددانشگاهي صنعتي شريف -1390  

  دانشگاه آزاد اسلامي، واحد مرودشت-1391

  دانشگاه شيراز، پژوهشكده فناوري نانو-1391

          پژوهشگاه مواد وانرژي -1392

  

 اخذ ايران كد براي سيستم­هاي لايه­نشاني مگنترون اسپاترينگ

دريافت گواهي ثبت اختراع براي سامانه نيمه خودكار اسپاترينگ

موارد قابل ارائه :
محصول تمام شده
تولید سفارشی
راه اندازي
تعمير
نگهداري
ارتقا
آموزش

واحد متولی در جهاد دانشگاهی :
واحد صنعتی شریف
سوال
 
 
 
      
 
 
 
  
بخش ها:
صنعت نفت
حمل ونقل ريلي
بيوتكنولوژي
صنايع نيروگاهي
انرژي هاي نو
 
ASPxHyperLink
ASPxHyperLink
ASPxHyperLink
 
                     Contact Us     Privacy Statement    Terms Of Use
                            Copyright @ 2008 Academic Center for Education, Culture and Research, All Rights Reserved